常州鑫立離子技術有限公司采用獨特的射頻離化技術產生穩(wěn)定的等離子體云，實現了擺脫熱陰極后穩(wěn)定工作的方式;可以擺脫熱陰極的壽命短板，可以實現過1000+小時連續(xù)穩(wěn)定工作。利用3層柵網確保離子束方向和離子能量的穩(wěn)定分布;射頻離子發(fā)生器和射頻電子發(fā)生器的綜合應用實現了真空系統里高能等離子體云的定向能量傳送。系統可以在多重工作氣體環(huán)境下穩(wěn)定工作。適用于離子束刻蝕、超高精度表面處理、濺射鍍膜、離子注入等多個高科技方向，目前射頻離子源已可以應用于光通信、視覺光學、導航制導等高精密光學領域以及在科研軍工方面進行了廣泛的應用。本產品可完全替代進口設備，填補國內空白打破國外壟斷。

離子束發(fā)生系統(射頻離子發(fā)生系統)特點：

最大束流：1200mA

離子發(fā)射能量：1000eV

無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染

中和系統(射頻電子發(fā)生系統)特點：

中和電子供應能力：>3A

連續(xù)工作時間：1000+小時

無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染

熱輻射溫度(>400mm工作距離)：<70℃

1、安裝要求：

電力：380V±5%， 3相5線 5Kw

1路氧氣、2路氬氣，純度>99.99%

冷卻水：射頻線圈>1L/min，離子源本體>3L/min，水溫<25℃

進出水壓差>0.2~0.4MPa

2、工作參數：

屏極參數：300V~1000V/150~1200mA

加速極參數：100~1000V

中和參數：300~2500mA

射頻功率：1000W+300W